电子半导体厂在线硅酸根分析仪 超纯水监测是保障超纯水（UPW）品质的核心设备，主要用于实时监测水中硅酸根离子（SiO₃²⁻）的痕量残留，防止硅污染导致的芯片良率下降，其检测下限可至0~200μg/L，精度达±2%FS，并支持至多6通道检测，通过实时硅离子数据反馈，可联动水处理系统动态调整反渗透（RO）和离子交换工艺，确保硅含量≤0.1mg/L。

电子半导体厂在线硅酸根分析仪 超纯水监测

仪器介绍

XT-SiO32-型在线硅酸根分析仪是一种基于光电比色法技术的智能水质监测仪器，可用于实时监测水体中硅酸根离子（SiO₃²⁻或溶解态SiO₂）的浓度，主要应用于电力与能源行业、化工与工业水处理、电子半导体与新能源行业等领域。具体包括监测电厂中锅炉给水、蒸汽冷凝水中的硅酸根含量、石化冶金厂循环冷却水硅含量监控、半导体超纯水的硅含量检测中。

技术特点

采用鼓气式液压加药方式，可实现精确计量，测量误差≤±2%FS；

冷光源分光测量，延长了光源的使用寿命；

支持自动校准、自动清洗、自动数据存储及多通道检测，减少人工干预；

无需预处理样品，适合24h连续在线监测；

隔离的4～20mA电流输出，通讯接口可选择RS-485，便于接入自动化控制系统；

电子半导体厂在线硅酸根分析仪 超纯水监测程序设计简单，操作界面清晰，保证用户能直接上手操作。

典型应用场景

半导体与电子制造

超纯水监测

超纯水系统中硅污染控制，硅表用于控制超纯水的硅含量（≤0.1mg/L），保障芯片生产用水纯度，避免硅污染影响芯片良率。

技术指标

产品型号：XT-SiO32-

测量范围：0-200ug/L/ppb或0-2000ug/L/ppb

显示方式：彩色液晶屏显示，耐温至80℃不变黑

精 确 度：±2%FS

重 复 性：不大于1%

稳 定 性：基线漂移：使用空白校准，不影响准确度

化学漂移：不大于1%读数/月（视试剂稳定性而异）

试剂种类：3种

温补范围：0～60℃

运行条件：流量100—300mL/min，温度5～50℃，压力14Kpa，水样不大于5微米（无胶状物，无油脂）

环境温度：0-45℃，85%RH不结露

继 电 器：标配2组，可扩展6组，常开触点

电流输出：4～20mA输出

数字输出：RS-485数字通讯

供电电源：AC220V，50HZ

安装方式：面板开孔/壁挂安装